X線源種類 | 0.4um~3um 分解能切替え式 開放管 X線源 | |
フィラメント種類 | 高輝度タイプLaB6チップ | |
X線焦点サイズ | 0.25um | |
最高分解能(マイクロチャート) | 0.4um(JIMAチャート) | |
X線出力 管電圧/管電流 | 30~130kV/10~200uA | |
最大幾何倍率 | 1200倍 | |
最大モニター倍率(24インチ換算) | 7400倍 | |
ステージサイズ | 直径400mm | |
最大検査範囲 | 335mmx300mm | |
ステージ ストローク |
X/Y軸 | ±200mm/±150mm |
Z軸/θ軸 | 230mm/360° | |
傾斜検出方式と角度 | 検出器傾斜方式 60° | |
検出器 | 検出器 | 4インチ I.I |
カメラ | 145万画素CCD | |
最大視野サイズ | 31mmx23mm | |
本体外形寸法 W×D×Hmm | 1650×1280×1990 | |
本体重量 | 2000kg | |
ユーティリティ | 電源 | 三相AC200V、30A(含オプション) |
エア | 0.4~0.5MPa(外径Φ6mmチューブ接続) |
X線源種類 | 0.4um~3um 分解能切替え式 開放管 X線源 | |
フィラメント種類 | 高輝度タイプLaB6チップ | |
X線焦点サイズ | 0.25um | |
最高分解能(マイクロチャート) | 0.4um(JIMAチャート) | |
X線出力 管電圧/管電流 | 30~130kV/10~200uA | |
最大幾何倍率 | 1000倍 | |
最大モニター倍率(21インチ換算) | 4700倍 | |
ステージサイズ | 440mm×440mm | |
対象ワークサイズ例 | 200mm×200mm | |
ステージストローク | X/Y軸 | ±100mm/±100mm |
Z軸/θ軸 | 200mm/605° | |
傾斜検出方式と角度 | 検出器傾斜方式 60° | |
検出器 | 検出器 | 4インチI.I |
カメラ | 145万画素CCD | |
最大視野サイズ | 33mmx24.5mm | |
本体外形寸法 W×D×Hmm | 1500×1200×1800 | |
本体重量 | 1100kg | |
ユーティリティ | 電源 | 三相AC200V、50A(含オプション) |
エア | 0.4~0.5MPa(外径Φ6mmチューブ接続) |
X線源種類(線源横置き型) | 0.4um~3um 分解能切替え式 開放管 X線源 ※1 |
フィラメント種類 | 高輝度タイプLaB6チップ |
X線焦点サイズ | 0.4um |
最高分解能(マイクロチャート) | 0.4um(JIMAチャート) |
X線出力 管電圧/管電流 | 20~80kV/10~200uA |
ボクセル当りの最大検出分解能 | 150nm |
搭載可能サンプルサイズ | 0.2~1 mm 最大11 mm (空間分解能9 µm) |
7軸精密マニピュレータ | X軸・Y軸・θ軸・Z軸、カメラポジション移動、 拡大率移動、検査ステージプレアライメント |
スキャン回転中の精度 | < 100 nm |
再構成時間 | 1断面あたり12秒 |
再構成アルゴリズム | コーンビーム再構成法 (Feldkamp方式) |
※1 本装置の分解能切り替えは0.4μm、0.6μm、1μmの3段階です。
※弊社装置のX線漏えい線量は全て装置表面 1μSv/h以下です。
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※装置制御用、オプション制御用のパソコンは納入時期により仕様が変わります。