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製品仕様一覧
 
汎用 ナノフォーカスX線検査装置 TUX-3300N
X線源種類 0.4um~3um 分解能切替え式 開放管 X線源
フィラメント種類 高輝度タイプLaB6チップ
X線焦点サイズ 0.25um
最高分解能(マイクロチャート) 0.4um(JIMAチャート)
X線出力 管電圧/管電流 30~130kV/10~200uA
最大幾何倍率 1200倍
最大モニター倍率(24インチ換算) 7400倍
ステージサイズ 直径400mm
最大検査範囲 335mmx300mm
ステージ
ストローク
X/Y軸 ±200mm/±150mm
Z軸/θ軸 230mm/360°
傾斜検出方式と角度 検出器傾斜方式 60°
検出器 検出器 4インチ I.I
カメラ 145万画素CCD
最大視野サイズ 31mmx23mm
本体外形寸法 W×D×Hmm 1650×1280×1990
本体重量 2000kg
ユーティリティ 電源 三相AC200V、30A(含オプション)
エア 0.4~0.5MPa(外径Φ6mmチューブ接続)
 
傾斜X線CT専用ナノフォーカスX線検査装置 TUX-3210N
X線源種類 0.4um~3um 分解能切替え式 開放管 X線源
フィラメント種類 高輝度タイプLaB6チップ
X線焦点サイズ 0.25um
最高分解能(マイクロチャート) 0.4um(JIMAチャート)
X線出力 管電圧/管電流 30~130kV/10~200uA
最大幾何倍率 1000倍
最大モニター倍率(21インチ換算) 4700倍
ステージサイズ 440mm×440mm
対象ワークサイズ例 200mm×200mm
ステージストローク X/Y軸 ±100mm/±100mm
Z軸/θ軸 200mm/605°
傾斜検出方式と角度 検出器傾斜方式 60°
検出器 検出器 4インチI.I
カメラ 145万画素CCD
最大視野サイズ 33mmx24.5mm
本体外形寸法 W×D×Hmm 1500×1200×1800
本体重量 1100kg
ユーティリティ 電源 三相AC200V、50A(含オプション)
エア 0.4~0.5MPa(外径Φ6mmチューブ接続)
 
新機能材料・生物試料用 ナノフォーカスX線CT専用 TOHKEN-SKYSCAN2011
X線源種類(線源横置き型) 0.4um~3um 分解能切替え式 開放管 X線源 ※1
フィラメント種類 高輝度タイプLaB6チップ
X線焦点サイズ 0.4um
最高分解能(マイクロチャート) 0.4um(JIMAチャート)
X線出力 管電圧/管電流 20~80kV/10~200uA
ボクセル当りの最大検出分解能 150nm
搭載可能サンプルサイズ 0.2~1 mm 最大11 mm (空間分解能9 µm)
7軸精密マニピュレータ X軸・Y軸・θ軸・Z軸、カメラポジション移動、
拡大率移動、検査ステージプレアライメント
スキャン回転中の精度 < 100 nm
再構成時間 1断面あたり12秒
再構成アルゴリズム コーンビーム再構成法
(Feldkamp方式)

※1 本装置の分解能切り替えは0.4μm、0.6μm、1μmの3段階です。

 

※弊社装置のX線漏えい線量は全て装置表面 1μSv/h以下です。
         X線装置の設置届、X線作業主任関連につきましてはこちら>
※装置制御用、オプション制御用のパソコンは納入時期により仕様が変わります。

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