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TUX-3000W

■エレクトロニクス 半導体・電子部品

装置仕様 X線検査受託サービス

特 長

分解能4段階切り替え機能付き (0.4μm/0.6μm/1μm/3μm)

弊社製開放管線源についてはこちら>

幾何学倍率 最大1500倍 モニター倍率7010倍 上部X線源搭載、X線焦点-試料間の距離(FOD)を0.5㎜の距離までステージを近づけることが可能

高解像度 145万画素CCDカメラ+4インチイメージインテンシファイア搭載

ステージ、X線源最大傾斜45° 
ステージサイズ 直径60㎜ ユーセントリックステージ搭載

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簡単なステージ操作 3種のステージ操作切り替え式(ダイレクトムーブ、連続移動、JOG移動)

ワークを自動的に真っ直ぐに回転させる整列機能、傾斜時に視野から見たい箇所が逃げない着目点設定機能搭載

スケール表示機能、オートアライメント、オートフォーカス機能搭載

2点間距離測定、ボンディングワイヤ流れ率計算、ボイド率計算ソフト標準装備

決まった距離を自動で移動し撮像をするインチング送り、ステップ送り機能搭載

オプション

直交型CT 加熱装置

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