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TUX-3200N

■エレクトロニクス(半導体・電子部品基板・樹脂成型品など)

装置仕様 X線検査受託サービス

特 長

分解能5段階切り替え機能付き (0.4μm/0.6μm/1μm/2μm/3μm)

弊社製開放管線源についてはこちら>

幾何学倍率 最大1200倍 モニター倍率5600倍 上部にX線源搭載、X線焦点-試料間の距離(FOD)を0.5㎜の距離までステージを近づけることが可能

高解像度 145万画素CCDカメラ + 4インチイメージインテンシファイア搭載

検出器最大傾斜60° ステージサイズ 直径400㎜搭載

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光学マッピング、X線マッピング デュアルモニターで大きな画面で表示が可能

簡単なステージ操作 4種のステージ操作切り替え式
(ダイレクトムーブ、ドラッグムーブ、連続移動、JOG移動)

ワークを自動的に真っ直ぐに回転させる整列機能、傾斜時に視野から見たい箇所が逃げない着目点設定機能搭載

スケール表示機能、オートアライメント、オートフォーカス機能搭載

2点間距離測定、ボンディングワイヤ流れ率計算、ボイド率計算ソフト標準装備

決まった距離を自動で移動し撮像をするインチング送り、ステップ送り機能搭載

オプション

直交型CT 加熱装置

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