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ナノフォーカス横照射型X線CT MUX-2021

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製品特長

業界最高水準の0.4μm分解能(JIMA チャート) の自社開発X線源搭載。
高感度X線検出器を搭載し、軽元素材料、小型電子部品に対して高輝度かつ高分解能でCT撮像が可能。

高分解能

  • 世界最高峰の分解能を誇る自社製X線源を
    搭載(JIMAチャート0.4μm保証)
  • 空間分解能 100nm以下
  • 高精度回転試料ステージ採用

ハイコントラスト

  • LaB6フィラメント採用で高輝度、高分解能を実現
  • 高感度検出器搭載で樹脂、カーボンなどの軽元素材料の観察に最適

高速撮像

  • 非停止撮像機能搭載で従来機と比べ
    撮像時間を大幅短縮(※当社従来機比)

観察事例

様々な用途に活用可能

ガラス充填剤入り接着剤凝集分散
(ガラス充填剤 数μm~数十μm)
セルロースナノファイバー入り樹脂凝集分散
(繊維径最小0.8μm)
3Dプリンタで作成したCFRP配向性
(繊維径7μm)  宇宙航空研究開発機構(JAXA)様ご提供サンプル
1005サイズ電子部品
構造観察
分野 検査対象 検査内容
材料・化学 GFRP CFRP カーボン 接着剤 樹脂フィルム 電池材料(活物質、バインダー) セルロースナノファイバー(CNF) 紙 繊維配向性 充填率 ボイド 空隙 膜厚 凝集分散 構造 剥離
電子部品 チップ部品 マイクロコネクタ MEMS 小型センサ 接合 ボイド 空隙 断線 剥離 構造 クラック
半導体 TSV インターポーザー マイクロバンプ 接合 ボイド 充填率 空隙 膜厚 クラック
医療 錠剤 カプセル剤 不織布 接合 ボイド 空隙 膜厚 構造
生物 昆虫 骨 種子 花 葉 構造

製品仕様

ナノフォーカス横照射型X線CT MUX-2021 仕様

線源 自社開発高分解能X線源
管電圧 20kV~100kV
管電流 10~200μA
フィラメント 高輝度LaB6チップ
最高分解能 0.4μm(JIMAチャート)
空間分解能 100nm以下
検出器 高感度X線検出器(16bit)
最大視野サイズ 17 × 17 mm

※当サイトに記載されている製品の外観・仕様は開発中または改良のため、予告なく変更される場合があります。,

当社について

株式会社マーストーケンソリューション X線検査装置事業のご紹介

X線検査装置は、高密度半導体や微細な電子部品、樹脂材料や複合材などの観察を可能にします。当社 は、世界トップレベルの分解能を誇る自社開発のX線源を搭載した検査装置メーカーとして、研究開発の 分野や、自動車部品や電池などの生産現場、品質管理における非破壊検査で社会に貢献しております。

製造ラインで

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豊富な経験と実績でX線検査を自動化

リチウムイオン電池の製造ラインではシェアNo.1。お客様のニーズに合わせた組み合わせやシステムを提案し、検査画像や結果をトレーサビリティに連動させることで、作業工程の削減や製品の品質向上を実現します。

研究施設で

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高分解能、低電圧X線源により従来とは異なる分析解析を実現

自社製の低電圧、高輝度なX線源は、従来の半導体や電子部品だけではなく、X線が透過しやすい新素材や複合材などの分野においても高い評価を得ており、大手メーカーのほか、大学や研究所などでも活躍しています。

株式会社マーストーケンソリューション X線検査事業特設サイトへ

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世界最高峰の分解能を誇る自社開発X線源

自社開発のX線源は分解能において常に業界をリードし、マイクロチャートによる0.4μmの分解能を保証。さらに世界最先端レベルとなる0.1μmの分解能を有するX線源を開発中。

X線源

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透過検査装置TUX-3300N

微細な電子部品から実装基板まであらゆる場面で活用でき、従来比4倍の高輝度を実現した新モデル。開発中の0.1μmという超分解能を有するX線源も搭載可能で、世界最高レベルの分解能を実現予定。

X線透視・CT装置

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オンラインX線検査装置

X線発生器、検出器の選定、画像処理システム、X線遮蔽機構、ワーク搬送機構など豊富な実績を生かし、ウェハーに形成された極小電極の検査の自動化など、ニーズに合わせた様々なX線自動検査を提供。

オンラインX線検査装置

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X線受託検査サービス

高分解能の透視検査やCT観察だけでなく、加熱しながらの内部観察も可能。研究開発や不具合解析に直結したX線検査の受託サービスを展開。

X線受託検査サービス

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MUX-2021 紹介カタログ

(PDF 2.1MB)

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