■エレクトロニクス 半導体・電子部品
特 長
■分解能4段階切り替え機能付き （0.4μm/0.6μm/1μm/3μm）
■幾何学倍率 最大1500倍 モニター倍率7010倍 上部X線源搭載、X線焦点-試料間の距離（FOD）を0.5㎜の距離までステージを近づけることが可能
■高解像度 145万画素CCDカメラ+4インチイメージインテンシファイア搭載
■ステージ、X線源最大傾斜45°
ステージサイズ 直径60㎜ ユーセントリックステージ搭載
■簡単なステージ操作 3種のステージ操作切り替え式（ダイレクトムーブ、連続移動、JOG移動）
■ワークを自動的に真っ直ぐに回転させる整列機能、傾斜時に視野から見たい箇所が逃げない着目点設定機能搭載
■スケール表示機能、オートアライメント、オートフォーカス機能搭載
■2点間距離測定、ボンディングワイヤ流れ率計算、ボイド率計算ソフト標準装備
■決まった距離を自動で移動し撮像をするインチング送り、ステップ送り機能搭載
オプション
