特 長
■分解能5段階切り替え機能付き （0.4μｍ/0.6μｍ/1μｍ/2μｍ/3μｍ）
■幾何学倍率 最大1000倍 モニター倍率4700倍 上部Ｘ線源搭載、Ｘ線焦点-試料間の距離（FOD）を0.5㎜の距離までステージを近づけることが可能。
■高解像度 145万画素CCDカメラ + 4インチイメージインテンシファイア搭載
■検出器最大傾斜60° ステージサイズ 440mm×440mm
剛性の高いステージで高倍率の傾斜CT撮像を強力にサポート
■光学マッピング、X線マッピング デュアルモニターで大きな画面で表示が出来ます
■簡単なステージ操作 4種のステージ操作切り替え式
（ダイレクトムーブ、ドラッグムーブ、連続移動、JOG移動）
■ワークを自動的に真っ直ぐに回転させる整列機能、傾斜、回転時に視野から見たい箇所が逃げない着目点、回転中心設定機能搭載
■スケール表示機能、オートアライメント、オートフォーカス機能搭載
■2点間距離測定、ボンディングワイヤ流れ率計算、ボイド率計算ソフト標準装備
■決まった距離を自動で移動し撮像をするインチング送り、ステップ送り機能搭載
仕様
| X線源種類 | 0.4um～3um 分解能切替え式 開放管 X線源 | |
| フィラメント種類 | 高輝度タイプLaB6チップ | |
| X線焦点サイズ | 0.25um | |
| 最高分解能（マイクロチャート） | 0.4um（JIMAチャート） | |
| X線出力 管電圧/管電流 | 30～130ｋV/10～200ｕＡ | |
| 最大幾何倍率 | 1000倍 | |
| 最大モニター倍率（21インチ換算） | 4700倍 | |
| ステージサイズ | 440mm×440mm | |
| 対象ワークサイズ例 | 200mm×200mm | |
| ステージストローク | X/Y軸 | ±100mm/±100mm |
| Z軸/θ軸 | 200mm/605° | |
| 傾斜検出方式と角度 | 検出器傾斜方式 60° | |
| 検出器 | 検出器 | 4インチI.I |
| カメラ | 145万画素CCD | |
| 最大視野サイズ | 33mmx24.5mm | |
| 本体外形寸法 W×D×Hmm | 1500×1200×1800 | |
| 本体重量 | 1100kg | |
| ユーティリティ | 電源 | 三相AC200V、50A(含オプション) |
| エア | 0.4～0.5MPａ（外径Φ6ｍｍチューブ接続） | |
オプション
