■エレクトロニクス（半導体・電子部品・基板・樹脂成型品など）
特 長
■焦点サイズ0.25μmの自社開発開放管X線源搭載。
分解能5段階切り替え機能付き（0.4μm/0.6μm/1μm/2μm/3μm）
更に、現在開発中の高分解能X線源へのアップグレードも可能。
■ユーザビリティを追求した筐体デザイン。
■高速検査機対応機能追加で半自動検査機にも対応。
■検出器最大傾斜60° ステージサイズ 直径400㎜搭載
■モニター倍率7400倍、幾何倍率1200倍の高倍率
■簡単なステージ操作 4種のステージ操作切り替え式
（ダイレクトムーブ、ドラッグムーブ、連続移動、JOG移動）
■ワークを自動的に真っ直ぐに回転させる整列機能、傾斜時に視野から見たい箇所が逃げない着目点設定機能搭載
■スケール表示機能、オートアライメント、オートフォーカス機能搭載
■2点間距離測定、ボンディングワイヤ流れ率計算、ボイド率計算ソフト標準装備
■決まった距離を自動で移動し撮像をするインチング送り、ステップ送り機能搭載
仕様
| X線源種類 | 0.4um～3um 分解能切替え式 開放管 X線源 | |
| フィラメント種類 | 高輝度タイプLaB6チップ | |
| X線焦点サイズ | 0.25um | |
| 最高分解能（マイクロチャート） | 0.4um（JIMAチャート） | |
| X線出力 管電圧/管電流 | 30～130kV/10～200uA | |
| 最大幾何倍率 | 1200倍 | |
| 最大モニター倍率（24インチ換算） | 7400倍 | |
| ステージサイズ | 直径400mm | |
| 最大検査範囲 | 335mmx300mm | |
| ステージ ストローク |
X/Y軸 | ±200mm/±150mm |
| Z軸/θ軸 | 230mm/360° | |
| 傾斜検出方式と角度 | 検出器傾斜方式 60° | |
| 検出器 | 検出器 | 4インチ I.I |
| カメラ | 145万画素CCD | |
| 最大視野サイズ | 31mmx23mm | |
| 本体外形寸法 W×D×Hmm | 1650×1280×1990 | |
| 本体重量 | 2000ｋｇ | |
| ユーティリティ | 電源 | 三相AC200V、30A(含オプション) |
| エア | 0.4～0.5MPa（外径Φ6mmチューブ接続） | |
オプション
