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TUX-8000

エレクトロニクス ウエハ バンプ TSV

X線検査受託サービス

特 長

分解能4段階切り替え機能付き(0.6um/1um/2um/3um)

弊社製開放管線源についてはこちら>

自社製高分解能X線源を搭載し、直径20~30umのマイクロバンプの数umレベルのボイド、ショート等の検査を可能としました

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8インチ(200㎜)/12インチ(300㎜)サイズのウエハに対応

オンライン化対応(GEM)、ロードポート増設、天井走行式無人搬送車(OHT)に対応

弊社独自開発 高精度なボイド抽出ロジック採用

スケール表示機能、オートアライメント、オートフォーカス機能搭載

クリーンルーム対応(クラス100)

ウエハマップデータ対応(フォーマットはご相談ください)

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フープ対応
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ステージ移送
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検査ステージ
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ボイド検査結果

お問い合わせはこちら

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