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TX-300 / TX-310
TX-310搭載機種
TUX-3300N
TUX-3210N
TUX-8000

特 長

2段の縮小レンズと収差補正機能を持った高精度の電子光学系と電子源に高電流密度フィラメント(LaB6)を採用した高輝度・高分解能の開放管型X線源です

X線焦点サイズ0.25μm、分解能は日本検査機器工業会JIMAチャートにて0.4μmを保証

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分解能切り替え機能
フィラメントの交換をしないので、真空リークすることなく、
即座に分解能の切り替えが可能
観察対象物に合わせて瞬時に分解能を切り替えることが出来ます

高分解能サイズ(0.4um/0.6um)
数umの微小クラックやボイド、繊維質など、
1000倍以上でシャープな画像を取りたいとき

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TSV内1um以下のボイド
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チップコンデンサ0402サイズ
 

中分解能サイズ
(1um/2um/3um)※
100um以上の大きなものが対象
高分解能よりも輝度を優先させたい場合
X線量が多いのでCTや動画撮像に有利に働きます。
※TX-300は(1um/3um)

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金ワイヤの接合部とアルミパット
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フリップチップバンプ接合部
 

簡単メンテナンス
フィラメントの交換はカートリッジ式になっており、お客様で交換が可能です。
交換後の調整は付属のソフトウェアで自動調整を行います。

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