■X線検査(透視)・CT装置
・汎用ナノフォーカスX線検査装置 TUX-3300N
・傾斜CT専用ナノフォーカス TUX-3210N
・製品仕様一覧
・直交型CT(オプション)
・加熱装置(オプション)
■オンラインX線検査装置
・ナノフォーカスウエハバンプX線検査装置 TUX-8000
・高分解能 X線ラインセンサ インライン自動検査装置TMX-70LP/130LS
・ボンディングワイヤ検査装置 TMX-90WPLF/TMX-90WPJT